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皮秒激光是指激光发射脉冲宽度时间为皮秒级,其依靠自身的峰值功率,瞬间气化材料,热效应微乎其微,加工边缘整齐。
通过皮秒激光在扫描振镜的移动反射下经平场扫描物镜聚焦在脆性材料表面,扫描振镜控制激光束进行多次重复转圈运动,逐渐烧蚀材料表面,材料被高密度峰值功率激光瞬间加热迅速升高至等离子体气化温度,使得材料逐渐被激光烧蚀并以气体的形式从材料表面逸出,从而实现材料的切透分离。
1. 切割边缘品质好,断面无锥度以及静压强度高等特点;
2. 采用皮秒或者飞秒激光器,超短脉冲加工无热传导,适于任意有机&无机材料的高速切割与钻孔,最小10μm的崩边和热影响区;
3. CCD视觉定位、有效加工幅面250mm×250mm、XY平台精度≤±3μm;
4. 支持多种视觉定位特征,如十字、实心圆、空心圆、L型直角边、影像特征点等;
5. 切割速度快,大幅提高产能,设备无需任何耗材,使用成本优势明显。
项目 | 参数 |
激光器类型 | 半导体泵浦皮秒激光器(532nm)可选 |
冷却方式 | 恒温水冷 |
激光功率 | 10~100W |
最小聚焦光斑直径 | Ф15μm |
加工速度 | 100~1500mm/s可调 |
最小崩边 | 15μm |
加工材料厚度 | 1.2mm |
加工尺寸&精度 | 250mm×250mm,±5μm |
机床运动轴数&种类 | 最多8轴, X,Y, Z, &θ轴 |
平台行程&速度 | 650mm×450mm |
800mm/s | |
运动平台重复精度 | ≤±1μm |
运动平台定位精度 | ≤±3μm |
激光加工&平台控制 | Sholasersoft, Sholasersmart |
加工文件导入格式 | Dxf, Plt, DWG |
CCD视觉定位精度 | ≤±3μm |
真空系统 | 真空发生器 |
除尘&集尘系统 | 三相电风机 |
上下料方式 | 全自动上下料 |
整机供电&稳压器功率 | 220V/380V,8KW |
压缩空气压强 | ≥0.6MPa |
无尘室等级 | 10000 |
保护氮气 | 高纯氮 |
适用于蓝宝石、光学玻璃等脆性材料以及热敏感的高分子无机材料,主要用在手机盖板和光学镜头外形、指纹识别芯片、液晶面板、无机材料的新型微细电子电路的切割和微细钻孔。